Corodare sau gravarea

Curs
7/10 (1 vot)
Conține 1 fișier: doc
Pagini : 5 în total
Cuvinte : 1493
Mărime: 142.64KB (arhivat)
Cost: Gratis

Extras din document

1. Generalități

Corodarea sau gravarea chimică (lb. engleză) este folosită îndeosebi în tehnologia siliciului, întâlnită în mod obișnuit în microelectronică și în tehnologia macrosistemelor, pentru realizarea de structuri de suprafață și tridimensionale.

Prin definiție [*Lit.18], [Ant.95], prin corodare chimică (în lb. engleză „etching”) se înțelege tehnica de dizolvare chimică a unui strat de material (Fig.1), realizată cu ajutorul unei soluții de corodare, care poate fi acidă sau alcalină. Materialul (stratul de material) de corodat poate fi material izolant, material semiconductor etc

Soluțiile de corodare chimică (corodanți chimici) au compoziții chimice stabilite în funcție de caracteristicile materialui corodat cât și de factori ai prelucrării cum ar fi temperatura de lucru, compoziția chimică a substanței chimice active etc. Ca produse principale de corodare chimică a siliciului [*Lit.18], [Ant.95] se întrebuițează soluția de hidroxid de potasiu sau hidroxid de sodiu KOH, în apă sau alcool izopropilic (sau izopropanol sau alcool de izopropil, cu formula moleculară C3H8O sau C3H7OH), un amestec de acid azotic HNO3 (acid nitric) și acid fluorhidric HF (primul realizează oxidarea siliciului, al doilea dizolvă stratul de oxid format) într-o soluție de acid acetic (CH3COOH) care favorizează acțiunea acidului azotic, soluție de etilendiamină - pirocatecol (EDP sau EPW) în apă etc.

Corodarea chimică se efectuează în băi de corodare sau prin pulverizarea materialului de corodat cu agentul coroziv [Lac.05].

În practică se folosesc două tipuri de corodare chimică:

- corodarea chimică “umedă” (în lb. engleză „wet chemical etching”);

- corodarea “uscată” (în lb. engleză „dry etching”) realizată prin diverse metode fizice.

În cazul tehnologiei microsistemelor, metodele de corodare chimică trebuie să îndeplinească următoarele principale cerințe:

- să asigure un grad înalt de precizie procesului de corodare;

- să asigure productivitatea prelucrării și cerințele de protecție a mediului ambiant.

2. Proprietăți de bază ale corodării chimice

Corodarea (gravarea) este caracterizată de două proprietăți de bază: proprietatea de selectivitate și proprietatea de izotropie sau anizotropie.

Selectivitatea substanței de corodare constă în capacitatea acesteia de a dizolva selectiv materiale specifice la o viteză de corodare mai rapidă decât în cazul altor materiale, ce nu trebuie corodate, existente pe placa de prelucrat sau de a nu coroda partea materialului de corodat protejată de o mască (Fig.1).Selectivitatea este definită cu raportul:

Selectivitate = viteza de corodare a materialului de corodat / viteza de corodare a altor materiale.

Izotropia sau anizotropia definește modul în care valorile vitezei de corodare sunt aceleași sau diferite pe direcțiile materialului de corodat. Procesul de corodare este izotropic atunci când viteza de corodare este aceeași pe orice direcție a materialului corodat. Procesul de corodare este anizotropic atunci când viteza de corodare este diferită pe direcții diferite ale materialului corodat.

În funcție de mediul în care are loc procesul de corodare, se întâlnesc două metode de corodare chimică:

1. corodare chimică în soluție (umedă);

2. corodare chimică uscată.

Selectarea unui proces de corodare (gravare) chimică se face după următoarele principale criterii [Bra.05]:

- viteza de corodare a materialului supus prelucrării;

- selectivitatea materialului de corodat;

- tipul corodării: izotropă sau anizotropă.

-

Preview document

Corodare sau gravarea - Pagina 1
Corodare sau gravarea - Pagina 2
Corodare sau gravarea - Pagina 3
Corodare sau gravarea - Pagina 4
Corodare sau gravarea - Pagina 5

Conținut arhivă zip

  • Corodare sau gravarea.doc

Alții au mai descărcat și

Operatii Unitare

Analiza granulometrica a unui material polidispers Scopul lucrării: determinarea diametrului mediu al particulelor unui amestec polidispers şi...

Control analitic

Ce factori trebuie luati in consideratie: Ce tip de informatii trebuie sa furnizeze metoda analitica? Care sunt avantajele si dezavantajele...

Chimie

Principalele aplicatii ale elementelor Inbogatirea uraniului, aditivi in apa, Aditiv in pasta de dinti, productia de aluminiu 9F RespiraŃie,...

Procese Termice de Masa

Condiţii obligatorii de intrare în examenul final - Predare 90% teste curs - Predare 90% teme de casă (atenţie testele identice nu vor fi luate...

Chimie Generala

CAP. 1 INTRODUCERE 1. care sunt caracteristicile prin care se definesc substantele? - omogenitate si compozitie constanta (unitara) 2. ce se...

Biomateriale

Biomaterialele = materiale inerte, care trateaza, inlocuiesc sau asigura functia unui tesut sau organ natural, vin in contact cu acestea sau cu...

Acizi Nucleici și Proteine

Aminoacizii sunt substanţe solide, cristalizate, solubile în apă (cu excepţia cisteinei, cistinei şi treoninei). Au punct de topire şi fierbere...

Procese Transfer Masa

Calculul coloanei de fracţionare a amestecului binar ce formează azeotrop Amestecurile binare omogene sau parţial miscibile care formează azetrop...

Ai nevoie de altceva?