Circuite Integrate

Imagine preview
(7/10 din 2 voturi)

Acest curs prezinta Circuite Integrate.
Mai jos poate fi vizualizat un extras din document (aprox. 2 pagini).

Arhiva contine 1 fisier ppt de 16 pagini .

Profesor: Popescu Ioan

Iti recomandam sa te uiti bine pe extras iar daca este ceea ce-ti trebuie pentru documentarea ta, il poti descarca.

Fratele cel mare te iubeste, acest download este gratuit. Yupyy!

Domeniu: Electronica

Extras din document

Tehnologia realizarii circuitelor integrate

Litografia

Un circuit integrat este o colectie de dispozitive active si componente pasive interconectate electric, realizate pe acelasi substrat de siliciu.

Componenta de baza a circuitelor integrate este tranzistorul. Initial BIPOLAR apoi MOS în final BiCMOS.

Indiferent de tipul de tranzistor, acesta se compune dintr-o succesiune de straturi diferit impurificate.

Procedeul tehnic folosit pentru realizarea acestor straturi succesive si a legaturilor dintre ele este LITOGRAFIA mai precis FOTOLITOGRAFIA

Fotolitografia se bazeaza pe acoperirea siliciului cu o substanta fotosensibila si expunerea selectiva la ultraviolete prin niste masti.

Evolutia dimensiunii detaliului minim dintr-o masca

Limita rezolutiei

Limita rezolutiei unui sistem de expunere optic este :

unde:

k1 este un parametru de proces (uzual 0.4~0.8);

NA este apertura numerica a sistemului de lentile (uzual între 0.16~0.6);

l este lungimea de unda a luminii utilizate.

Lungimea de unda a surselor de lumina folosite în litografie

Structura unui tranzistor MOS cu poarta de polisiliciu

Fotolitografia

Utilizeaza lumina pentru a expune un strat de fotorezist depus pe substrat prin intermediul unei masti.

Masca este o placa de 2mm de sticla, pe care sunt depuse regiuni opace de film de câtiva mm sau chiar mai putin.

Fotorezistul este un polimer sensibil la lumina ultravioleta. Expunerea la lumina determina fie cresterea (rezist pozitiv) fie reducerea solubilitatii (rezist negativ) în anumiti solventi.

Rezistul pozitiv asigura rezolutie mai buna, cel negativ adera mai bine la metal si la SiO2.

Fisiere in arhiva (1):

  • Circuite Integrate.ppt