Depunerea cu fascicul de ioni

Rezumat

În acest referat, conceptele generale de proiectare ale sistemului IBD vor fi

discutat din punctul de vedere al mecanismelor de transport cu energie redusă a energiei ionice și a mecanismelor de formare a filmului. Apoi, va fi prezentată recenta aplicație pentru formarea de film de Fe cu puritate înaltă. În cele din urmă, un rezumat al metodei IBD.

Depunerea cu fascicul de ioni (IBD) este o metodă directă pentru formarea de pelicule solide de înaltă puritate pe un substrat prin iradierea unei fascicule de ioni cu particule mici de energie separată în masă (ioni de materiale solide) într-un mediu ultra-vid. Prin această metodă, putem obține cu ușurință filme de metal de înaltă puritate îmbogățite izotopic sau semiconductoare. Mai mult, putem controla proprietățile filmului selectând energia de iradiere cu ioni. Aceste caracteristici sunt complet diferite de celelalte metode convenționale de purificare, cum ar fi purificarea zonei flotante sau topirea arcului în vid ultra-înalt. În prezent, trei termeni au fost folosiți pentru a desemna această tehnică; depunerea pe fascicul de ioni, depunerea directă a fasciculului de ioni și depunerea primară cu fascicul de ioni.

Cuvinte cheie

-Separarea electromagnetică a izotopilor

-Formatul potențial

Depunerea cu fascicul de ioni

Depunerea cu fascicul de ioni (IBD) este o metodă directă pentru formarea solidului de înaltă puritate filme pe un substrat prin iradierea unei fascicule de ioni cu o energie redusă de energie (ioni de materiale solide) într-un mediu ultra-vid. De aceasta, putem obține cu ușurință filme de metal de înaltă puritate sau semiconductoare îmbogățite izotopic. În plus, putem controla proprietățile filmului selectând energia de iradiere a ionilor. Aceste caracteristici sunt complet diferite de altele metode de purificare convenționale, cum ar fi purificarea în zone plutitoare sau arc topirea în vid ultra-înalt. În prezent, trei termeni au fost folosiți pentru a desemna această tehnică; depunerea pe fascicul de ioni, depunerea directă a fasciculului de ioni și depunerea primară a fasciculului de ioni.

Din punct de vedere istoric, metoda IBD se bazează parțial pe tehnica de separare electromagnetică a izotopilor, care a fost dezvoltată pentru izotopul de uraniu, în timpul celui de-al doilea război mondial în cadrul Proiectului Manhattan . În metoda de separare izotopică electromagnetică, ionii care trebuie separați în masă sunt extrasi dintr-o sursă de ioni metalici de mare intensitate la o energie înaltă (aproximativ 30-50 keV) și selectate prin utilizarea unui electromagnet. Ioni metalici separați în masă cum ar fi 235U +. După acumularea ionilor izotopi separați în masă (de exemplu, 235U +) în țintă, ținta este supusă unei proceduri chimice de produs elementul izotopic separat în masă sub formă de pulberi de oxid sau de oxhidridă.

În contrast cu tehnica de separare electromagnetică a izotopilor, în Metoda IBD ionii separați în masă sunt în cele din urmă decelerați de către un câmp electric, la o energie foarte scăzută pentru a fi depus pe un substrat - într-un mod tipic, mai jos de 100 eV.